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      AHYQ3510F_4軸真空直驅(qū)雙臂Q型晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

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      AHYQ3510F_4軸真空直驅(qū)雙臂B型晶圓搬運(yùn)機(jī)器人,自主研發(fā)安全可控,可全面替代進(jìn)口品牌。

      產(chǎn)品描述


      4軸真空直驅(qū)雙臂Q型晶圓搬運(yùn)機(jī)器人
      AHYQ3510F_AHY系列半導(dǎo)體機(jī)器人
       
      • ● 高可靠真空隔離,從容應(yīng)對(duì)高真空環(huán)境
      • ● 電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)機(jī)器人運(yùn)動(dòng),提升運(yùn)行可靠性
      • ● 高強(qiáng)度高剛性鋼帶傳動(dòng),實(shí)現(xiàn)手臂高傳動(dòng)精度
      • ● 采用閉環(huán)伺服控制,實(shí)現(xiàn)高精度位置控制
      • ● 同時(shí)實(shí)現(xiàn)雙工位交換晶圓動(dòng)作(Swap)

      臂長(zhǎng)

      355.5mm

        額定/最大負(fù)載

       ≤1kg

      搬運(yùn)物

      ≤Φ300mm晶圓

      新時(shí)達(dá)眾為興AHYQ7010F_4軸真空直驅(qū)雙臂Q型晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

      關(guān)鍵詞:

      新時(shí)達(dá)眾為興AHYQ7010F_4軸真空直驅(qū)雙臂Q型晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

      規(guī)格參數(shù)

      新時(shí)達(dá)眾為興AHYQ7010F_4軸真空直驅(qū)雙臂Q型晶圓搬運(yùn)機(jī)器人