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      VA5204_3軸真空?qǐng)A柱坐標(biāo)單臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

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      VA5204_3軸真空?qǐng)A柱坐標(biāo)單臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

      TBA4030F-07-09_4軸大氣圓柱坐標(biāo)雙臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人,自主研發(fā)安全可控,可全面替代進(jìn)口品牌。

      產(chǎn)品描述


      3軸真空?qǐng)A柱坐標(biāo)單臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人
      VA5204_VA系列半導(dǎo)體機(jī)器人
       
      • ● 可根據(jù)設(shè)備布局定制臂長及Z軸行程
      • ● 采用閉環(huán)伺服控制
      • ● 末端執(zhí)行器類型:下托式
      • ● 可選配免電池絕對(duì)式編碼器

      •  

      臂長

      520mm

        額定/最大負(fù)載

       2kg

      搬運(yùn)物

      ≤Φ300mm晶圓

      新時(shí)達(dá)眾為興VA5204_3軸真空?qǐng)A柱坐標(biāo)單臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

      關(guān)鍵詞:

      新時(shí)達(dá)眾為興VA5204_3軸真空?qǐng)A柱坐標(biāo)單臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

      規(guī)格參數(shù)

      新時(shí)達(dá)眾為興VA5204_3軸真空?qǐng)A柱坐標(biāo)單臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人


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